技術(shù)參數(shù)：

1 能量范圍：0 eV ~ 3 keV；

2 工作距離：25 mm ~ 100 mm；

3 偏轉(zhuǎn)角度：±1° @ 5 keV；

4 束流：最大 20 μA；

5 束流均勻性：< 5%；

6 束斑尺寸：5 mm ~ 25 mm；

7 離子種類(lèi)：Ar＋；

8 燈絲材料：鎢錸合金；

Ar離子槍產(chǎn)品介紹