技術(shù)參數(shù)：

1 能量范圍：50 eV ~ 5 keV；

2 離子槍工作距離：25 mm ~ 100 mm；

3 離子束偏轉(zhuǎn)角度：±1o @ 5 keV；

4 離子槍束流：1 nA ~ 2 μA ；

5 束斑尺寸：1 mm ~ 20 mm；

6 離子種類：Cs+，Li+，Na+，K+ ，Rb+；

7 計算機／遠(yuǎn)程控制能力：通過50針D-sub/RS-232接口；

8 能量分布：約 0.4 eV；

9 雙柵脈沖寬度調(diào)制范圍：1 μs ~ DC，重復(fù)頻率可到1 kHz；(Option)

10 脈沖寬度調(diào)制范圍：20 ns ~ 100 μs；(Option)

11 法拉第杯；(Option)