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原子層沉積

  • 等離子體增強(qiáng)原子層沉積（PEALD）
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等離子體增強(qiáng)原子層沉積（PEALD）

  • 可編譯全自動一鍵式工藝操作
  • 等離子體增強(qiáng)模式和熱模式共存
  • 緊湊友好人機(jī)交互設(shè)計
  • 高性價比原子層沉積
  • 產(chǎn)品描述：等離子體增強(qiáng)原子層沉積，Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition，PEALD 原子層沉積，Atomic Layer Deposition，ALD
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