SMX-ILH專利的熱屏蔽技術(shù)可使熱基板在高達(dá)300?C下實時進(jìn)行X射線熒光數(shù)據(jù)采集，減少面板的停留時間，提高加工能力。由于采用一個專門設(shè)計的Z軸高度調(diào)節(jié)功能裝置，該系統(tǒng)能夠適應(yīng)大型面板中經(jīng)常出現(xiàn)的平面性差異（弓起和卷曲）等問題，從而進(jìn)一步提高了測量精度和結(jié)果，尤其是在較高的溫度下。

• 成分和層厚分析
• 材料選擇，薄層配方
• 在線及離線過程控制
• 良率管理

應(yīng)用領(lǐng)域：

• 光伏制造過程
• 微電子制造
• 防腐蝕涂層
• 熱障涂層
• 能源（CIGS， CIS，電池）