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二手設(shè)備

  • KLA表面輪廓儀
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KLA表面輪廓儀

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本公司新到一批二手TLA Tencor® P-17表面輪廓儀,機(jī)臺(tái)成色新(8-9成新),狀態(tài)好,價(jià)格合適,售后服務(wù)完善。歡迎垂詢!

產(chǎn)品描述

Tencor P-17是第八代臺(tái)式探針式輪廓儀,它凝結(jié)了逾40年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)。該行業(yè)領(lǐng)先的系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測(cè)量,掃描范圍可達(dá)200mm,無需拼接。

出色的測(cè)量穩(wěn)定性通過結(jié)合UltraLite® 傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺(tái)實(shí)現(xiàn)。通過使用點(diǎn)擊式樣品臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī),可快速輕松地設(shè)置程式。Tencor P-17探針式輪廓儀支持2D或3D測(cè)量,可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來測(cè)量表面形貌。通過圖形識(shí)別、序列和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。

特征


  1. 臺(tái)階高度:納米級(jí)到1000微米
  2. 恒力控制:0.03至15mg
  3. 無需拼接即可掃描樣品的全直徑
  4. 視頻:5MP高分辨率彩色相機(jī)
  5. 弧形校正:可消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
  6. 軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面
  7. 生產(chǎn)能力:具有測(cè)序、圖形識(shí)別和SECS/GEM功能的全自動(dòng)測(cè)量


應(yīng)用


  1. 臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度
  2. 紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
  3. 形狀:2D和3D翹曲形狀
  4. 應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力
  5. 缺陷檢測(cè):2D 和 3D 缺陷表面形貌



工業(yè)


  • 高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所
  • 半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
  • LED:發(fā)光二極管
  • 太陽能
  • MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)
  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
  • 汽車
  • 醫(yī)療器械